6500SC
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6500SC상세 제원
Large CSP와 HBM 등 Advanced Package 공정에 최적화된 고성능 세정 설비입니다. 강화된 세정 압력과 풍량, 향상된 온도 제어 성능을 바탕으로 대형 및 고집적 패키지의 까다로운 세정 조건에 효과적으로 대응합니다.
| 모델명 | 6500SC |
|---|---|
| 전력 | AC380V 3phase 60Hz 300AAC380V 3phase 60Hz 400A |
| 제원 | 2,500(L) × 1,900(W) × 2,230(H)4,300(L) × 1,900(W) × 2,300(H) |
| 벨트 사이즈 | 2,450(L) × 520(W)4,250(L) × 520(W) |
| 수압(온도) | ~170psi (70+/-5°C) |
| Dry Zone (유량) | 1,000~1,500mmH2O1,000~2,700mmH2O |
| System | PLC & PC control |
| Interpace | SMEMA, SECS/ZEM(Option) |
* 설비의 Spec 은 요구 사항에 따른 설계 변경으로 바뀔 수 있음