주력사업
반도체 공정에서 발생하는 화학 물질 및 산화막 제거에 대한 세정 솔루션을 제공 합니다
자동화 시스템이 적용 된 설비로 제품 투입 시 세정 후 완전 건조 상태로 배출 됩니다
화학약품 세정, 초순수 세정 공간을 완전히 분리하여 용액이 혼합 되는 상황을 차단합니다
화학 용액 세정(SC 모델)
초순수D.I 세정(S 모델)
Hot Air Dry system
- Plate Heater와 Hot air blow system 을 동시 적용하여 설비 면적 최소화
- Moisture control
- 증기를 액화하여 배기 시설내 수분 유입 최소화
공정
화학 세정(SC)
화학 용액으로 2단계 세정 후 린스와 에어블로우로 건조하는 공정
01화학 세정 1
02화학 세정 2
03린스
04건조 (에어 블로우)
초순수 세정(S)
초순수 D.I Water로 4단계 세정 후 에어블로우와 열풍으로 완전 건조하는 공정
01세정 1
02세정 2
03린스
04최종 린스
05건조 (에어 블로우)
06건조 (히터 / 열풍)